検査装置シリーズ
シリコンウェーハやガラス基板などの、外部欠陥や内部欠陥の検査を、独自の光学技術と画像処理技術によりご提案
外部欠陥検査
基板検査に必要なキズ、欠け、クラック、パーティクルなどの欠陥検出や、平坦度の測定など発生した実欠陥に合わせた検出手法をご提案。
外部欠陥事例
内部欠陥検査
基板内部に発生する欠陥を、透過や反射により検出。
発生した実欠陥に合わせた検出手法をご提案。
内部欠陥事例
基板内部に発生する欠陥を、透過や反射により検出。
発生した実欠陥に合わせた検出手法をご提案。