外観検査装置

シリコンウェーハやガラス基板などの、外部欠陥や内部欠陥の検査を、独自の光学技術と画像処理技術によりご提案

検査項目：Edge

エッジ検査における、欠け、クラックなどの欠陥を独自の光学技術と画像処理技術で検出します。

検査項目：Back/Front Surface

裏面及び表面検査における、パーティクル、スクラッチなどの欠陥を独自の光学技術と画像処理技術で検出します。

検査項目：Pinhole(Air Pocket)

表面及び内部検査における、ピンホール(エアポケット)などの欠陥を独自の光学技術と画像処理技術で検出します。

装置ラインナップ

• Edge検査単体機
• Back&Front Surface検査単体機
• Edge／Back／Front Surface／Pinhole複合機