製品情報

半導体マスクライター

半導体マスクライターの概要

最先端の半導体デバイス製造で使われる位相シフトマスクの製造や、モバイル通信機器・IoT・そして車載向け半導体用で使われるバイナリマスクの製造を独自の消耗品フリー設計で製造コストを大幅削減。
最先端の半導体製造工場で実証された安定性で、高い稼働率をお約束。

重ね合わせ精度

独自開発したアライメント技術により、最先端ノードの異相シフトマスクの2層目処理で要求される高い重ね合わせ精度の要求に対応。

解像力

独自に開発したディストーションフリー光学系で500nmの解像力での高速かつ高精度での描画を実現。

消耗品フリー

独自の消耗品フリー設計で光源・レンズ・ミラー等の交換を必要とせず、消耗品コストの削減のみならず、消耗品交換に必要な労務費や装置のダウンタイムを不要とし、高い稼働率を長期的にも実現。

低消費電力

半導体を製造する為に要する電力消費は上昇傾向にある中、効率の高い光源を採用する事で低消費電力でマスク製造が可能となります。