製品情報

ウェーハ外観検査装置 SIFTer300シリーズ

シリコンウェーハの生産における加工工程中に発生する外部欠陥や内部欠陥を独自の光学技術と画像処理技術により欠陥を抽出し検査を行う装置です。

対応ウェーハ
SEMI規格12インチシリコンウェーハ(両面PWウェーハ)
(直径300mm±0.2mm、厚さ775um±25um、そり0.1mm以下)

外部欠陥検査

基板外観に発生する、キズ、カケ、クラック、パーティクル、スクラッチなどの欠陥を、実欠陥に合わせた光学系とアルゴリズムにより検査を行う。

内部欠陥検査

基板内部に発生する、ピンホール(エアポケット)欠陥を、実欠陥に合わせた光学系とアルゴリズムにより検査を行う。

当社製旧レイテックス装置との比較

これまでの検査装置との違い

装置外観


◎ W 1800 x D 2330 x H 2000 (mm)
◎ 重量約2200Kg

UT接続仕様

電源容量 200V 50/60Hz 75A
圧縮空気 0.5MPa以上
Φ6 ワンタッチ継手 or ¼スウェージロック
真空 -80KPa以上
Φ6 ワンタッチ継手 or ¼スウェージロック
LAN RJ-45コネクタ