製品情報

平坦度ナノトポグラフィ測定装置 DynaSearchシリーズ N4-1200HR

独自の光学技術と画像処理技術により、シリコンウェーハ表面のナノトポグラフィー、ロールオフ、さらに微小欠陥検査が実現。

測定可能ウェーハ
鏡面ウェーハ、エピウェーハ、アニールウェーハ
※200mm ウェーハはご相談ください。

従来機の機能

  • ナノトポグラフィー
  • ロールオフ

従来機に新機能を追加

  1. 微小欠陥検査
    約60umの横分解能を持つカメラ、高分解能に対応した新光学系により、微小な凹凸欠陥を検出可能
  2. 高分解能Nanotopography
    約60umの高分解能により、今まで見ることができなかったウェーハ表面の微細な凹凸高さが測定が可能

平坦度ナノトポグラフィ測定装置