2004年12月
資本金を12百万円に増資 (株)ナノシステムソリューションズ設立 【(有)光匠から組織変更】
独立行政法人 産業技術総合研究所 技術移転ベンチャー企業の認定を受ける
2005年 1月
資本金を40百万円に増資
2005年 2月
資本金を170百万円(資本準備金を含む)に増資
2005年 9月
資本金を393.85百万円に増資
2007年 3月
(株)レイテックスとの株式交換により完全子会社となる。それに伴い、本社を移転。 東京都多摩市落合1-33-3 (株)レイテックス内