マスクレス露光装置

最小画素1μmを実現した独自の技術で多岐分野のニーズに対応するマスクレス露光装置

詳しくはこちら

検査装置シリーズ

シリコンウェーハやガラス基板などの、外部欠陥や内部欠陥の検査を、独自の光学技術と画像処理技術によりご提案

詳しくはこちら

新規事業の取り組み

レーザ精密微細加工のエキスパートとして、お客様に最適なソリューションをご提案

詳しくはこちら

最新情報News

2016/12/01
0.5um解像度の高速マスクレス露光装置を産業カスタマーに納入いたしました。
2015/12/25
Takumi MarkVI 販売中止のお知らせ
2015/07
Webサイトリニューアルのお知らせ
2015/07
本社を移転いたします。詳細はこちらから
2014/01/21
本社を移転いたします。詳細はこちらから
2011/06/30
マスクレス露光装置 発明大賞功労賞を受賞

トピックスTopics

MEMS Engineer Forum 2015に出展します。New

2015年 4月 20日(月)~ 21日(火) 10:00-17:00  会場:KFCKFC ホール (東京・両国)

オーラルセッション・併設展示会とも無料