マスクレス露光装置

最小画素1μmを実現した独自の技術で多岐分野のニーズに対応するマスクレス露光装置

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検査装置シリーズ

シリコンウェーハやガラス基板などの、外部欠陥や内部欠陥の検査を、独自の光学技術と画像処理技術によりご提案

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新規事業の取り組み

レーザ精密微細加工のエキスパートとして、お客様に最適なソリューションをご提案

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トピックスTopics

MEMS Engineer Forum 2015に出展します。New

2015年 4月 20日(月)~ 21日(火) 10:00-17:00  会場:KFCKFC ホール (東京・両国)

オーラルセッション・併設展示会とも無料